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第66章 洁净室的秘密（第1页）

超净间外，温天洋正翻看着一本小册子，那是苏硅半导体洁净室介绍。

芯片作为目前人类文明最精密的工业产品，其生产过程，对于杂质污染极其敏感，尤其是纳米级的高端制程，混入衬底的几颗离子就能影响掺杂，改变芯片的电学特性，空中起舞的几个分子便可干扰覆膜，降低良率，落在表面的几颗尘埃，足以短路开路，破坏芯片的物理结构。

因此芯片的生产必须在一个绝对干净且稳定的环境中进行。

在各家芯片厂中，不同级别的净室占据绝大部分的位置。

净室中，空气中的浮尘微粒，甚至气体分子的密度都要被控制在极低的范围内，温度、湿度、压强、微震动等指标也必须可以精密调控，否则芯片生产就会难产。

芯片生产的净室，是所有无尘环境中要求最为苛刻的，其洁净等级、建造难度和施工成本都是最高的。

坐一旁的总工侧身对温天洋低声说道：

“温总，华芯这边的净室级别不低啊，应该是以前的净室改造的，但我一直听说国内无尘空间这方面的技术还不够支撑半导体级别。”

温天洋又翻过一页，边看边说：“听说是申城微电子那边过来协助改造的，当初还出现过一次问题。”

两人开始低声交流起无尘空间的情况。

在ISo-1标准认证中，干净是分级别的，按照颗粒物的直径和密度划分，把一个封闭空间的洁净度分为1-9级，数字越小级别越高，每高1级干净10倍。

ISo4-8级对应华国10级到10万级，在新闻中常听到的百级实验室，千级手术室就是指这个洁净等级了。

我们平时呼吸的空气，质量最佳的时候就是ISo9级的及格线，医院对应5-7级。

而芯片的生产，不能低于ISo3级的标准，关键制程需要2-1级的环境中进行。

举个栗子，ISo2级中pm0.5的颗粒物，比如一粒细菌，每立方米不能超过4个，pm0.1的颗粒物，比如病毒，每立方米不能超过100个。

最高的ISo1级，细菌已经算是庞然大物了，根本不允许进入，0.1微米的小颗粒，每立方米最多10粒，按体积算，相当于往西湖里撒10粒盐，所以芯片的净室比医院的净室要干净百万倍。

整个芯片生产的车间是如何保持洁净的呢？

主要是暖通空调系统，即保暖，通风，空气调节，简称hVAc，采用大量风机过滤单元，通过不间断的过滤与气流循环的方式来实现，ISo4以上的净室，需要超高效过滤器，对0.1微米的颗粒过滤效率超过99.999%，除了过滤器还需要风机。

按气流循环模式洁净室又分为单向流与非单项流两种，非单项流称为紊流洁净室，ISo5级以下的净室大部分都是非单项流。

芯片的测试、组装与封装区域需要的就是ISo5级的净室。

ISo1-4级必须使用单项流，又称层流洁净室，这种净室的顶部是大量风机过滤单元覆盖大部分区域甚至全部的天花板，地板都是带孔的特殊地板，顶上吹来的风向下进入回风层，这就相当于用水流一直冲洗空间。

所以，芯片厂通常有4层楼，制程设备和人员在中间的工具人层，头上是安装风机的加压层，楼下则是有各种管道的回风层，最底层则是各种电力设施和各种气体的存放设备。

考虑到成本问题，芯片车间通常是由不同级别的净室搭配组合而成的。

比如制程区IoS3级，测试区ISo6级，走廊过道是ISo9级，不同净室之间杂质浓度相差1000倍，当打开门的时候，杂质会向级别高的区域扩散，为了不让这种扩撒产生，需要给净室加压，让相邻净室之间有10pA左右的压强差。

在光刻中，因为要把光掩膜投射在晶圆上，所以光掩膜必须透光清晰，如果空气中分子浓度多了一点点，就容易在晶圆与光掩膜上凝结出大小不一的薄雾，业内称为雾状缺陷，光掩膜一旦被玷污，再牛的光刻机也刻不出芯片。

芯片生产车间中，最大的污染源就是工作人员，正常人每天掉落60根头发，每小时产生50毫克头皮屑，身体随时都在产生死皮细胞，脱离身体飘到空中。

如果工作人员在清洗槽中滴落一滴汗珠，便足够让1000张晶圆报废。

这也就是为什么生产区域的人都必须从头到脚全副武装的原因，头套、口罩、无尘服、静电鞋、除了少数面部区域，所有身体部位都包得严严实实，最大限度防止一切毛发、皮屑、飞沫的外传。

通常在视频中看到晶圆厂顶上跑来跑去的盒子，就是晶圆的运输盒，高空轨道运输，就是减少人的参与。

温天洋微微摇头，感叹道，“芯片比手机难太多了，平时做芯片设计并不觉得，可一旦你身处其中时，立刻感受到了困难！”

“温总，按照这手册上的介绍，我们现在身处的是9级的休息区，何总进去的是2级净室，但我们的最终目标是7纳米的精密制程，会不会受影响啊？”身旁的总工提出了自己的疑问。

“应该可以，中芯那边我去过，他们1级净室只有2间，其他大部分是2级，苏硅的生产线是改造的，能达到2级已经非常不错了。”

温天洋喃喃自语，开始思索昨天晚上何总对他说的那句话。

“天洋，华芯不仅仅是在帮我们，也是在帮整个华国的科技企业，我们的任务艰巨啊，从一开始任老就在防着这天，但真发生时，还是措手不及，这样的事不能再发生在华芯的身上了。”

这两天的相处，华芯处处透着神秘，一家硅片企业，短短半年时间，打破了岛国12英寸硅片的垄断，如果不是台鸡电不收他们的硅片，现在国内所有的手机厂商估计都要选苏硅的硅片了！

还得有自己晶圆厂才行，一旦华芯能量产EUV，华微肯定会布局，这次也算是提前练兵。

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